进口真空阀门的真空法氦质谱检漏方法 真空阀门包含真空球阀，真空蝶阀，真空隔膜阀，真空电磁阀，真空挡板阀等等；必须在真空负压的工况下保证密封，满足真空率等级的要求和泄漏率等级的密封要求；那么真空阀门的检漏方法有哪些呢，主要用氦质谱检漏仪进行检测。 氦质谱检漏仪功能描述 支持正压检漏，负压检漏 自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果 优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应 高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦 支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底 机器卓越的性能支持7*24小时长时间在线测试 机器卓越的性能支持几秒一次的高频率测试 配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤 双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击 支持定制检漏工作台，更加便捷使用 氦质谱检漏仪参数 Z小可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa•m3/s Z小可检漏率（正压模式） 5×10-9Pa•m3/s 检漏口压强 粗检 1500Pa 中检 200Pa 精检 40Pa 响应时间 ＜0.5s 启动时间 ≤2min 前级油泵抽速 1.8m3/h(0.5L/s) 外形尺寸（W×D×H） 510×490×380 真空阀门的真空法氦质谱检漏方法 1、真空法检漏 采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦置或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位;真空氦置法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。 真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。 真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。 真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB/T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。 2、真空压力法氦质谱检漏 采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入真空密封室再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。 真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。 真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。 真空压力法的检测标准有GB/T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
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